تأثير الضغط ودرجة الحرارة على تحضير أفلام رقيقة من الرصاص والزركونيوم والتيتانيوم

تأثير الضغط ودرجة الحرارة على تحضير أفلام رقيقة من الرصاص والزركونيوم والتيتانيوم

Effect of Pressure and Temperature on Preparing PZT Films

الأفلام الرقيقة والمكونة من عناصر التيتانيوم، الزركونيوم والرصاص (PZT) والتي تمّ تحضيرها بواسطة الترسيب الموجي باستخدام الليزر على شرائح بليتنيوم (Pt) والمطلي بالسيليكون (Si) تركز الدراسة على تأثير الضغط الجزئي للأكسجين ودرجة حرارة الشريحة وزمن التعريض لليزر على اتجاه الإحداثيات للأفلام الرقيقة وعلى طبيعة تركيبة الشريحه. لقد خلصت الدراسة إلى ان اتجاه احداثيات [111] لأفلام (PZT) يُمكن أن يتم تحضيرها تحت الشروط التالية وهي أن يكون الضغط الجزئي للأكسجين 300 ميلي تود وأن حرارة الوسط للفيلم هي 605 دردجة مئوية ومدة الترسيب 16 دقيقة.

Ferroelectrics lead zirconate titanate (PZT) thin films were fabricated by pulsed laser deposition on Pt coated Si substrate. The effect of oxygen partial pressure, substrate temperature and time of ablation on the film orientation and composition will be presented. It was found that highly (111) textured PZT films could be grown with careful selection of ablation conditions which are: the oxygen pressure is 300 mT, substrate temperature is 605 C and the ablation time is 16 minutes.

النص الكامل